一、 概 述
本仪器是在真空状态下利用电阻加热法,将电阻丝上的金属丝(铝丝、铜丝、铬丝……)熔融汽化,汽化的金属分子沉积于基片上,获得光滑高反射率的膜层,达到装饰美化物品表面的目的。仪器由高真空镀膜工作室、真空测量、真空机组等组成。
二、 特 点
1. 可根据实验的具体要求选择、增减设备进行组合
2. 设备精小,操作简便,显示清晰
三、 配置及技术性能
1. 机械泵:抽速0.5l/s,极限真空0.06Pa,转速:1400r/min
2. 玻璃油扩散泵: 三级油扩散泵内60l/s,极限压强是1×10-5Pa
3. 加油量:120ml~150ml
4. 真空测量范围 :0~101.3kPa
5. 真空测量分辨率:±0.001Pa