一、 概 述
    本仪器由机械泵、玻璃油扩散泵、真空测量、真空蒸镀室、电控系统及测量仪表组成，可以完成真空制备，薄膜制备等功能。
二、 特 点
    1. 通过真空玻璃罩能清晰地观察到蒸发、溅射等物理过程
    2. 操作简便，显示清晰
三、 配置及技术性能
    1. 机械泵:抽速0.５l/s，极限真空0.06Pa，转速：1400r/min
    2. 玻璃油扩散泵: 三级油扩散泵内60l/s，极限压强是1×10-5Pa
    3. 加油量：120ml～150ml
    4. 真空测量范围 ：0～101.3kPa
    5. 真空测量分辨率：±0.001Pa
四、 实验项目
    1. 真空的制备和测量
    2. 热蒸发法进行薄膜制备